Laser Excimer
Laser Excimer là một loại laser khí đặc biệt được cung cấp bởi một luồng phóng điện trong đó môi trường phát laser là một excimer, hay chính xác hơn là một exciplex trong các thiết kế hiện có. Đây là những phân tử chỉ có thể tồn tại với một nguyên tử ở trạng thái điện tử bị kích thích. Một khi phân tử chuyển năng lượng kích thích của nó sang một photon, các nguyên tử của nó không còn liên kết với nhau và phân tử tan rã. Điều này làm giảm đáng kể dân số của trạng thái năng lượng thấp hơn, do đó tạo điều kiện thuận lợi cho việc đảo ngược dân số. Excimers hiện đang được sử dụng là tất cả các hợp chất khí cao quý; khí cao quý là trơ về mặt hóa học và chỉ có thể tạo thành các hợp chất trong khi ở trạng thái kích thích. Laser Excimer thường hoạt động ở bước sóng cực tím với các ứng dụng chính bao gồm quang khắc bán dẫn và phẫu thuật mắt LASIK. Các phân tử excimer thường được sử dụng bao gồm ArF (phát xạ ở 193nm), KrCl (222nm), KrF (248 nm), XeCl (308 nm) và XeF (351 nm). [31] Tia laser phân tử, phát ra ở bước sóng 157nm trong tia cực tím chân không đôi khi được gọi là laser excimer, tuy nhiên điều này dường như là một cách gọi sai lầm vì F2 là một hợp chất ổn định.
